MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统,即具有智能的微系统,MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它.简单来说,MEMS就是对系统级芯片的进一步集成.我们几乎可以在单个芯片上集成任何东西,像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等,因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术.MEMS器件价格低廉、性能优异、适用于多种应用,将成为影响未来生活的重要技术之一.

微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术.它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统.